线共焦3D测量传感器
搜索
产品中心
浏览量:
1000
产品描述
参数
特点：毫米级量程，亚微米级精度。
典型应用：双头测厚，台阶高度。
| 型号 | 单位 | OP3 |
| 安装距离 | mm | 16 |
| 量程 | μm | ±600 |
| 最大倾角 | deg | ±29° |
| 光斑尺寸 | μm | 9 |
| 分辨率 | nm | 10(40) |
| 放大器型号 | Fc | |
| 线性度 | ±0.02%F.S. | |
| 精度 | μm | ±0.05 |
| 最小厚度测量 | μm | 22 |
| 最大厚度测量 | μm | 1694 |
| 长度 | mm | 179 |
| 重量 | kg | 0.22 |
| 直径 | mm | 27/32 |
关键词:
光谱共焦位移传感器
THINKFOCUS
上一个
无
下一个
OP2-Fa 光谱共焦位移传感器
×
-
-
版权所有 © 2022 太阳集团见好就收9728光电技术（上海）有限公司 沪ICP备16050549号-1