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 有机硅凝胶厚度测量

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将薄膜贴合在吸盘上，测量涂胶与为涂胶面之间的段差即为涂胶的厚度

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 激光显微镜与光谱共焦测量粗糙度对比

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THINKFOCUS光谱共焦轮廓仪与激光共聚焦显微镜在测量100纳米以上量级时，可以达到同样的测量效果。但是显微镜存在视野小的弊端。而光谱共焦位移传感器的测量范围可以达到100*100mm。以下是激光共聚焦显微镜与光谱共焦三维轮廓仪测量结果的比对。

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扫描微加工件三维形貌，提取profile测量其底部凹槽表面粗糙度

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扫描锂电池电极的三维表面，提取profile测量其表面粗糙度

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光谱共焦位移传感器在测量厚膜电阻的时候，电阻在湿润状态下即可测量。陶瓷与银浆可同时稳定测量。

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